Nanosys-600F
最大加工口徑: Φ600mm
五軸聯(lián)動(dòng)功能
超精密刀尖跟隨 RTCP
皮米級(jí)分辨率超精密運(yùn)動(dòng)控制
五軸聯(lián)動(dòng)精度 <10nm
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