Nanosys-1000

大承載液體靜壓工件主軸

無(wú)摩擦平衡氣缸的垂直液體靜壓導(dǎo)軌

加工范圍：Φ1000×350mm

測(cè)量、控制系統(tǒng)分辨率：1nm

加工面形精度：0.3μm/Φ300mm

加工表面粗糙度：Ra<10nm